廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵養護維修
振動(dòng)分析 在制造過(guò)程中以及泵運輸前的測試中,對每臺泵的振動(dòng)頻譜進(jìn)行驗證。全速下的平均大振動(dòng)水平:0.4 m/s2。噪音測試 通過(guò)在以下 12 種不同運行狀態(tài)和方向下對一批泵進(jìn)行一系列測試,來(lái)驗證泵噪音:垂直、水平和翻轉位置;高溫和低溫;全速和低速。在正常運行狀態(tài)下,168 次測量得到的平均噪音為 41 dB(A)+/-3σ。包裝測試 通過(guò)對帶包裝的泵進(jìn)行測試來(lái)驗證包裝性能,在測試時(shí),使帶包裝的泵從 96 厘米/37.8 英寸的高度以各種角度跌落 18 次。裝有 TwisTorr 305 的包裝箱可承受 30 g 的加速度,以確保在運輸過(guò)程中不會(huì )因跌落或運輸而損壞。
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分子泵控制器 “3D” 控制軟件
早期的分子泵控制器又叫分子泵電源,其的功能是向分子泵供電;后來(lái),改進(jìn)型的控制器具備了一定的保護功能,可以監控分子泵的功率和溫度,相當于為分子泵的工作狀態(tài)設置了一條紅線(xiàn),分子泵只能在這條線(xiàn)以下工作(2D),若超過(guò)這條線(xiàn)控制器就會(huì )報警停機。
與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器,變被動(dòng)保護為主動(dòng)調整,可以根據不同的工藝條件,自動(dòng)調整輸出功率和轉速,使泵在保證自身安全的同時(shí),始終工作在一個(gè)達到優(yōu)性能的曲面上(3D),達到佳的氣載量和壓縮比。同時(shí)因為避免了分子泵超負荷運行,可以延長(cháng)其使用壽命。
與 704FS 同時(shí)發(fā)布的還有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一個(gè)完整的系列。
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安捷倫提供穩定的出色渦輪分子泵系統,在實(shí)驗室和工業(yè)等廣泛應用中均能提供值得信賴(lài)的真空環(huán)境。我們的渦輪分子泵解決方案配備抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列渦輪分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前級干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能壓力讀數真空計。此類(lèi)解決方案采用創(chuàng )新設計,利用可配置的或一體化的平臺(包括小型 TPS、臺式機組、DIY 系統和移動(dòng)式解決方案)滿(mǎn)足您的所有需求。
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安捷倫Varian Turbo-V 551 Navigator渦輪分子高真空泵集成到許多分析儀器應用中,包括電子顯微鏡(SEM,TEM),聚焦離子束系統(FIB)和表面分析現代聚焦光束系統,如SEM,TEM和FIB利用將電子或離子投射到顯微樣品上的色譜柱進(jìn)行詳細分析。zui終用戶(hù)分析從有機化合物到半導體晶片的所有類(lèi)型的物質(zhì)。特別是在半導體行業(yè),它們需要更高的靈敏度以獲得更好的樣品分辨率。另一個(gè)關(guān)鍵要求是高樣品通量,以降低這些儀器的擁有成本。
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對使用過(guò)的安捷倫擴散泵做過(guò)保養的客戶(hù)都會(huì )有一種印象,與別的擴散泵經(jīng)常會(huì )結滿(mǎn)黑黑的油垢不同,安捷倫的擴散泵噴塔往往在使用好幾年后也非常干凈,有客戶(hù)甚至猜測安捷倫的擴散泵噴塔使用了類(lèi)似不粘鍋的涂層。其實(shí),這主要是因為安捷倫擴散泵噴塔上防焦化擋板設計——在每一級噴嘴的上方,都會(huì )有一個(gè)與下面的噴塔點(diǎn)接觸的罩子,該罩子的溫度比噴塔低很多,所以,從上方滴下的油滴就不會(huì )落到高溫的泵塔上焦化結垢,而是滴落在低溫的擋板上,這就保證了安捷倫擴散泵的噴塔可以一直很干凈,不用定期費時(shí)費力清洗
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一般的檢漏儀只能設置大于某一漏率的報警值。因此在系統檢漏時(shí),當分流比過(guò)大卻沒(méi)有設置相應的分流比,或者當檢漏閥門(mén)關(guān)閉或堵塞時(shí),就有可能錯過(guò)泄漏。安捷倫 HLD 系列檢漏儀可以同時(shí)設置大于某一漏率和小于某一漏率的報警值。這樣,當檢漏儀的漏率小于經(jīng)驗的本底值或者預先安裝的標準漏孔的值時(shí),就會(huì )觸發(fā)報警。另外,在使用自動(dòng)排序器模式進(jìn)行密封元器件的檢漏時(shí),除了對漏率可以同時(shí)設置大于和小于某一漏率的報警值外(使用背壓法檢漏的器件,當泄漏很大時(shí),檢漏儀的讀數反而會(huì )很?。?,還可以設置長(cháng)粗抽時(shí)間和檢漏時(shí)間,從而盡可能地避免系統污染、漏氣、堵塞等帶來(lái)的誤報、漏報等